本文目录一览：1、4钽酸锂晶片为什么平坦度不合格的原因2、钽酸锂晶片生产中怎样处理砂面脏3、钽酸锂cmp缺陷4钽酸锂晶片为什么平坦度不合格的原因1、抛光后晶片表面存在缺陷，划痕、凹坑。要使钽酸锂晶片达到合格的平坦度，可以改进抛光轮的材质和硬度，以获得更好的表面平整度。2、清洗，研...